모세관 lithography에 관한 질문입니다.

첨부파일에 그림을 올려놓았습니다. 그림을 보시면 됩니다.

첫 번째 단계에서 PDMS를 사용해 모세관 현상을 이용해 Polymer의 Aspect ratio(AR)를 높여주었습니다.(마이크로 m 단위)

그 다음에 PUA를 이용해서 polymer의 양각부분이 더 높은 AR을 갖게 하였습니다. (나노m 단위)

이 때 polymer의 모세관현상이 일어나도록 하려면 유리전이온도 이상으로 온도를 높여주거나 solution상태로 만들어 고체화시키는 방법 두 가지가 있습니다. 

 PUA mold를 polymer에 위에 얹어 놓아 cured된 polymer가 다시 모세관 현상이 일어나도록 하려면 유리전이온도 이상으로 온도를 높여야 할 것 같습니다. 이 과정에서 양각부분의 polymer가 사이의 파인 부분으로 흘러내리지 않을까하는 생각이 들었습니다. 즉 마이크로 단위로 만들어 놓았던 원통모양이 메니스커스처럼 볼록해지지 않을까요?

답변 )Tg 이상으로 약간 온도가 올라간다고 완전히 액체가 되는 것은 아니어서 그리 걱정할 사항은 아니라고 봅니다. 물론 완벽한 straight-cut이 균일하게 나오진 않겠죠.

안동준 교수